R&S?ZNA67矢量網絡分析儀進行晶圓上差分射頻測量

在高頻下進行準確測量，對于表征放大器、混頻器和差分線等有源和無源器件的特性至關重要。

由探針臺和R&S?ZNA矢量網絡分析儀組成的測量裝置

您的任務

在 5G、6G 和毫米波器件的研發、驗證與生產過程中，在晶圓上測量設備的電氣特性非常重要。這些測量是通信、國防和航天等前沿技術發展的關鍵支撐。

準確表征放大器、混頻器和傳輸線，是確保其順利集成到模塊與產品中的關鍵環節。同時，為了實現最大產能，需要精確快速地進行晶圓上樣品測試。

與探針臺的機械集成

羅德與施瓦茨解決方案

為應對高達110 GHz的晶圓上差分測量挑戰，R&S?ZNA67EXT矢量網絡分析儀（VNA）提供了一套完整的單次掃描解決方案。

測量裝置由 R&S?ZNA67 主機和外部變頻器組成，可實現最高 110 GHz 的精確且可重復的測量。

該裝置的一個關鍵優勢在于其與 MPI Corporation 探針臺的機械集成。變頻器安裝在側面，有效縮短了與射頻探針之間的距離。通過減少電纜彎折和縮短信號傳輸路徑，該設計顯著增強了機械穩定性與整體射頻性能。

測量裝置兼容虛擬差分與真實差分配置，為各種被測設備 (DUT) 場景提供高度靈活的解決方案。VNA 架構包含多個相位相參信號源和并行測量接收機，實現全毫米波頻段的多端口和真實差分混合模式 S 參數高精度分析。

QAlibria? 晶圓級射頻校準軟件

射頻探測的集成與穩定性

測量裝置采用 MPI 高性能探針臺，支持手動和自動化配置，并可選配熱臺和振動隔離功能，確保探測的穩定性。該裝置的射頻接口采用 GSGSG 配置的 MPI TITAN? 毫米波雙探針，專為高達 120 GHz 的差分測量優化了設計。這些探針在毫米波頻段具有卓越的耐用性、回波和插入損耗性能以及端口隔離度，同時優化了尖端的可視性設計，確保精準接觸焊盤。

為了確保測量的可重復性和相位穩定性，MPI 開發了專用的機械集成夾具，可以將頻率擴展器穩固地安裝在探針臺上。該夾具有效減少了電纜彎折與移動，保持穩定的電纜路徑，并縮短了射頻信號傳輸距離。由此可實現更高的指向性、更低的損耗，并在重復扎針后提供高度穩定的測量結果。MPI 獨有的射頻探針臂嵌入式機械傳輸結構，可實現光密封測量，同時不影響探針定位精度。

校準使用專為 GSGSG 配置設計的 MPI TCS 雙校準片，與探針間距精確匹配。

MPI TCS 系列代表了新一代校準片，集成晶圓級射頻校準技術的最新成果與推薦方法。憑借獨特的對端端接標準件，可以在超過 110 GHz 的頻率下實現卓越的校準精度。

MPI QAlibria? 和 SENTIO? 軟件提供全面支持，不僅可在探針前端實現快速、精確、可靠的全自動校準，還能使用晶圓上校準標準件和在寬溫度范圍下完成校準。

總結

通過將尖端射頻性能、智能化機械集成和先進的校準工具相結合，測量裝置為復雜的毫米波測試簡化了可靠高效的工作流程。

該裝置最大限度地降低了設置復雜度并提高了測量完整性，為高頻率和高精度應用提供支持。

羅德與施瓦茨的R&S?ZNA67EXT與MPI公司的探針臺相結合，可為高達110 GHz的晶圓上差分測量提供穩固精確的解決方案，滿足先進半導體測試與表征的嚴格要求。